第1198章 霍爷工厂 (第4/5页)

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首先是打开设备的环节。

操作人员需要先打开总控制电源，接着打开冷却水，要确保左边冷却腔壁和靶材、右边冷却分子泵的水流畅通。

然后打开左箱的总电源开关，在确认给真空室放气用的V3阀关紧后，按下机械泵按钮，打开真空计，再打开机械泵角阀。

之后便可打开分子泵电源，进行预热，并按下功能键复零。

当高气压显示小于6Pa时，操作人员需要先关闭角阀，再打开电磁阀，按下star键启动分子泵，紧接着旋开板阀，开始抽本底真空。

当低气压显示达到约2．5×10—3Pa左右，接近设定的值时，就可以打开衬底温度控制电源了。

先精心设定好衬底温度，需按enter键进行确认，再把功率设为3．15（该值确定不变）。

当衬底温度接近设定的温度时，便可打开右箱电源。

而当低气压显示达到设定的本底真空气压时，按下高真空计的功能键，调至手动模式。

接着打开流量计控制电源，把控制氩气的扳手调至阀控状态，打开V4（同时要确保V5打开、V6关闭），然后把氩气的高低压阀依次打开（先开高压阀，后开低压阀，注意低压表只能调至两格），通过流量计调节氩气的流量到设定值，再调节板阀旋钮使高真空计显示到设定的反应气压，最后打开溅射电源，并把功率调到设定的功率，观察腔内是否起辉，进行预溅射10至15分钟。

预溅射时间结束后，将溅射电源功率调到零，把板阀全部旋开，把控制氧气的流量计的扳手扳到阀控状态，旋开V6，再把氧气的流量控制扳手调至清零后复位，使氧气瓶低压表显示为零，接着把氧气瓶的高低压阀依次旋开（先高后低），调节氧气流量到设定的值，再次旋开板阀，调节腔体气压到设定值，把溅射电源功率重新调到设定的值。

各参数稳定后，就可以调节小车位置，开始正式的沉积工作了。

关闭设备的步骤也同样重要。首先要把溅射电源功率调到零，把板阀全部旋开，使小车停到挡板

接着关闭氧气瓶上的高低压阀（先高后低）和氩气瓶上的高低压阀（先高后低），关掉溅射电源开关，关掉小车开关，关掉右箱总电源。

然后把两个流量计扳手扳到关闭状态，再把流量计电源关掉，把衬底温度的电源功率调到零，再关闭衬底电源，按功能键把低压计调到自动模式，接着再抽一会儿真空。

随后把板阀全部旋紧，按s键关掉分子泵，关掉气压计电源。待分子泵转数为零后，把分子泵电源关掉，再关掉电磁阀，关掉机械泵，最后关掉左箱总电源开关以及冷却水和总电源开关。

在遇到紧急情况时，也有相应的操作方法。

如果分子泵工作时突然停电，需要先关掉两个箱的总电源，再把两气瓶的高低压阀关上（先关氧气的），然后把板阀旋紧，再关V4和V6，其他就按正常关闭步骤操作。

而当分子泵未工作但机械泵工作时突然停电，则要先把左箱电源关掉，再关闭角阀，其他按常规步骤进行关闭。

这台磁控溅射设备的每一个操作步骤都需要操作人员严格按照流程进行，任何一个环节的疏忽都可能影响到最终的产品质量和设备的正常运行。

霍爷工厂的工人们都经过了专业的培训，他们深知这些操作流程的重要性，以确保设备能够稳定、高效地运行，为工厂的生产提供有力的保障。

每一台设备都在各自的岗位上发挥着关键作用，共同为实现太空探索的梦想贡献着力量。

工人们和技术人员们充满激情地投入到工作中，他们深知自己所从事的工作的重要性和意义。

在这片充满活力和创新的土地上，科技与梦想相互交融，共同铸就着辉煌的未来。

霍爷时常亲自来到工厂车间，他的目光中充满了对每一个环节的关注和期待。